问答题

【简答题】工艺参数是一个范围,做工艺验证时,要覆盖整个参数范围还是参数范围中的一个点(通常是中值)。(TZ-138)

答案:确切点讲,应在研发阶段确立设计空间,工艺验证过程中,只要在设计空间以内,均可认可。但为了挑战苛刻条件,不一定取中间值,而...
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