微电子学章节练习(2019.12.11)

来源：考试资料网

问答题

参考答案：可以毫不夸张地说，没有微电子技术的进步，就不可能有今天信息技术的蓬勃发展，微电子已经成为整个信息社会发展的基石。随着微电...

问答题

参考答案：

判断题

参考答案：对

填空题

参考答案：变宽；变窄；增大；即厄尔利效应

问答题

参考答案：提高芯片性能：器件做得越小，在芯片上放置得越紧密，芯片的速度就会提高。提高芯片可靠性：芯片可靠性致力于趋于芯片寿命的功能...

问答题

参考答案：在升温环境里，通过外部供给高纯氧气使之与硅衬底反应，可以在硅片上得到一层热生长的氧化层；沉积的氧化层可以通过外部供给氧气...

问答题

参考答案： 1.离子源
2.引出电极和离子分析器
3.加速管
4.扫描系统
5.工艺室

填空题

参考答案：回流；化学机械抛光；硼硅玻璃（BSG）、磷硅玻璃（PSG）和硼磷硅玻璃（BPSG）

问答题

参考答案：载流子漂移（电流）和扩散（电流）过程保持平衡（相等），形成自建场和自建势在PN结上外加一电压，如果P型一边接正极，N型一...

问答题

参考答案：（1）对材料具有高的选择比
（2）不会对器件带来等离子体损伤
（3）设备简单