A.固定并保护晶圆,避免其随意滑动而发生碰撞B.用于储存晶圆的容器C.保护蓝膜,防止晶圆上的蓝膜受到污染D.便于周转搬运
A.减小晶圆体积,节省空间B.提高晶圆散热性C.降低后续工艺中的设备损害和原材料成本D.使晶圆表面保持光滑规整
A.保证晶圆切割时不发生移动B.保护垫作用,防止晶圆磕碰而损伤C.防止操作员作业时晶圆划破橡胶手套D.粘附切割后的晶粒,防止其散落