多项选择题

封装工艺前期,需要进行晶圆研磨,即晶圆减薄,其主要目的是()

A.减小晶圆体积,节省空间
B.提高晶圆散热性
C.降低后续工艺中的设备损害和原材料成本
D.使晶圆表面保持光滑规整

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