集成电路技术章节练习(2018.01.01)

问答题
常见的光刻对准曝光设备有？
答案：
接触式光刻机；接近式光刻机；扫描投影光刻机；分步重复投影光刻机；步进扫描光刻机。
名词解释
分凝系数
答案：对于固相-液相的界面，由于杂质在不同相中的溶解度不一样，所以杂质在界面两边材料中分布的浓度是不同的，这就是所谓杂质的分凝...
问答题
为什么通常都将“哑”单元连接到某一个固定电势而不悬空？
答案：
悬空容易造成静电积累给芯片带来干扰性问题
问答题
离子注入法有哪些优点？
答案：掺杂的过程可通过调整杂质剂量及能量来精确控制杂质分布，可进行小剂量和极小深度的掺杂较低的工艺温度，故光刻胶可用作掩膜可供...
判断题
离子注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。
答案：正确
问答题
影响显影的主要因素？
答案：
曝光时间、前烘的温度和时间、光刻胶的膜厚、显影液的浓度、显影液的温度、显影液的搅动情况
名词解释
静态功耗
答案：指某稳定状态下消耗的功率，是电源电压与电源电流之乘积。电路有两个稳态，则有导通功耗和截止功耗，电路静态功耗取两者平均值，...
问答题
解决数模信号之间串扰的措施有哪些？
答案：1.可以将模拟和数字电源地分离
2.可以将模拟电路和数字电路、模拟总线和数字总线应尽量分开而不交叉混合
名词解释
溅射镀膜
答案：溅射镀膜是利用电场对辉光放电过程中产生出来的带电离子进行加速，使其获得一定的动能后，轰击靶电极，将靶电极的原子溅射出来，...
问答题
MOS管的IDS大小除与源漏电压和栅极电压有关外，还与哪些因素有关？
答案：
源漏之间的距离、沟道宽度、开启电压、栅绝缘氧化层的厚度、栅绝缘层的介电常数、载流子的迁移率