多项选择题

半导体工艺技术中，器件互连材料通常包括（）等。

A.金属
B.合金
C.多晶硅
D.金属硅化物

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多项选择题

硅半导体工艺中的绝缘材料主要来源于硅自身产生的（）材料等。

A.SiO₂
B.SiON
C.Si₃N₄

多项选择题

材料根据流经材电流的不同可分为三类（）。

A.导体
B.绝缘体
C.半导体