多项选择题X 纠错
A.探头扫查速度不应大于150mm/s。
B.相邻的两次扫查之间至少应有探头晶片宽度10%的重叠。
C.以搜索缺陷为目标的手工探头扫查,其探头行走方式应呈“W”型,并有10°~15°的摆动。
D.为确定缺陷的位置、方向、形状,应增加前后、左右、转角、环绕等各种扫查方式。
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