单项选择题X 纠错
A.<0.005μm B.<0.015μm C.<0.025μm D.<0.035μm
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单项选择题
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A.插入旋转 B.旋入 C.压入 D.旋转插入
A.插入 B.压入 C.适配 D.锁住
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A.机器人 B.机械手 C.小车 D.托盘
A.互补式 B.独立式 C.互替式 D.混合式
A.闭环控制 B.半闭环控制 C.开环控制 D.补偿控制
A.等离子体 B.电子云 C.强激光束 D.电子束
A.基片 B.基材 C.靶材 D.膜层
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