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平均自由程
参考答案：
粒子和粒子碰撞前能够移动的平均距离。
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分解碰撞
参考答案：
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参考答案：
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离子化碰撞
参考答案：
当电子和原子或者分子碰撞时，会将部分能量传递到受原子核或分子核束缚的轨道上。
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问答题
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参考答案：
离子化碰撞、激发-松弛碰撞、分解碰撞
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光刻技术
参考答案：
图形化工艺中将设计好的图形从光刻板或背缩光刻板转印到晶圆表面的的光刻胶上使用的技术。
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