为了消除仪器性能的漂移和标准溶液与未知试液间的基体差异的干扰，可通过分析试液中内标元素的背景值，对仪器的响应进行归一化处理。
内标元素的选择要求：待测试液中不含有的元素；与分析元素质量相近；电离电位与分析元素相近；不受同量异位素重叠或多原子离子干扰或对被测元素的同位素产生干扰。