单项选择题X 纠错

避免侧壁干涉的最小距离dmin 与波长λ及缺陷到检测面距离a 有关，其关系是（）。

A.λ减少、a 增加、dmin 减少
B.λ减少、a 减少、dmin 增加
C.λ增加、a 增加、dmin 增加
D.λ增加、a 增加、dmin 减少

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