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多项选择题

A.有效栅宽变窄
B.电流减少
C.电容增加
D.电阻增大

多项选择题

A.选择合适的掩蔽膜
B.在氧化前,将窗口处的硅腐蚀掉深度,再进行局部氧化
C.退火
D.高压氧化工艺

单项选择题

A.注氧隔离法
B.智能剥离法
C.键合再减薄技术
D.以上都是

单项选择题

A.制备硅烷
B.硅烷热分解
C.精馏
D.固体吸附法

多项选择题

A.印刷多层法
B.生板叠层法
C.磁控溅射法
D.厚膜多层法

单项选择题

A.有机物颗粒
B.塑料颗粒
C.玻璃颗粒
D.陶瓷颗粒

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