一个玻璃真空系统，如果经过长时间抽气，仍达不到预期的真空度，在排除泵的因素后，可能的原因有：
（1）蒸气源：水蒸气、机械泵油和扩散泵油的蒸气、高真空的密封油脂和封蜡的蒸气及系统内其他污染物，形成蒸气源。
（2）表面放气：系统的器壁、系统内金属元件表面吸附着大量气体分子，在低压下向系统内释放。
（3）真漏：真空系统连接部位安装不良，焊处有漏孔或漏隙及阀门处密封不严所造成。对于蒸气源和表面放气，首先在设计系统时要选择合适的材料和结构。
（4）防漏的措施：尽量选择蒸气压低的真空泵油，其次是搞好真空清洁，使系统表面清洁、干燥，然后在真空条件下烘烤去气，但材料吸附的气体不可能完全去除，在压强较低时，表面放气还是存在。实验中的主要问题是真漏，这正是防漏所要解决的问题。