问答题

【简答题】低压溅射的主要优点有哪些？

答案：（1）在低工作压强情况下，薄膜中被俘获的惰性气体的浓度会得到有效降低；
（2）溅射原子具有较高的平均能量，当它...

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【简答题】磁控溅射具有的两大特点和需要优化的主要实验参数有哪些？

答案：磁控溅射具有沉积温度低、沉积速率高两大特点。在溅射镀膜过程中，可以调节并需要优化的实验参数有电源功率、工作气体流里和压强...

【简答题】溅射原子的能童分布一般呈何分布，溅射原子的能量和速度具有哪些特点？

答案：溅射原子的能童分布一般呈麦克斯韦分布，溅射原子的能量和速度具有以下特点：
（1）原子序数大的溅射原子溅射逸出时...