A.机器人
B.机械手
C.小车
D.托盘

A.互补式
B.独立式
C.互替式
D.混合式

A.闭环控制
B.半闭环控制
C.开环控制
D.补偿控制

A.等离子体
B.电子云
C.强激光束
D.电子束

A.基片
B.基材
C.靶材
D.膜层

A.0.1~1.0nm
B.0.2~1.0nm
C.0.3~1.0nm
D.0.4~1.0nm

A.陶瓷
B.电镀镍
C.金刚石
D.再结晶玻璃

A.A区
B.B区
C.C区
D.D区

A.200~1000m/min
B.800~3000m/min
C.900~5000m/min
D.1000~7000m/min

A.200~1000m/min
B.800~3000m/min
C.900~5000m/min
D.1000~7000m/min

A.200~1000m/min
B.800~3000m/min
C.900~5000m/min
D.1000~7000m/min