放射性废气的存在形态有两类，一类是以挥发性放射性气体形态存在，另一类是以放射性气溶胶形态存在。这两类放射性废气的处理方法是不一样的。
对挥发性放射性气体可用吸附法处理，也可以用扩散稀释的办法处理。最常用的吸附法是用分子筛吸附或活性炭吸附把放射性去掉。例如放射性碘就是用活性炭吸附达到净化目的的。在铀矿山、水冶厂，由于排放的放射性气体浓度较低，又无经济可行的去除方法，所以一般通过高烟囱排放的办法，使其在大气中扩散稀释。
对于放射性气溶胶常使用洗涤法、过滤法、静电除尘法进行处理。一个完整的净化流程一般包括三部分，即预处理、中效过滤和高效过滤。
预处理的常用设备有机械除尘器、湿式洗涤除尘器和粗过滤器等。用这些设备可除去气溶胶中粒径较大的固态或液态颗粒。
中效过滤的常用设备有金属网格过滤器，泡沫塑料过滤器、玻璃纤维无纺布过滤器等。通过这一段过滤能除去大部分中等粒径的颗粒。
高效过滤使用的设备叫高效过滤器或精过滤器。这种过滤器的过滤效率高达99.97%以上（对大于0.3μm的微粒）。经过一级过滤，气溶胶废气可得到完全净化。中效和高效过滤器使用过的滤料，不能随便堆放，而应作为放射固体废物加以限制。