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ICP-MS中的载气是等离子体的内管气流，其作用是在等离子体中打通一条通道，并携带和输送样品进入等离子体中。
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ICP-MS中采样锥和截取锥之间的距离是非常重要的参数。
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ICP-MS中截取锥的作用是选择来自采样锥孔的膨胀射流的中心部分，并让其通过截取锥进入下一级真空。
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ICP-MS中截取锥应经常清洗，否则重金属基体沉积在其表面会再蒸发电离形成记忆效应。
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经常清洗ICP-MS中截取锥可使记忆效应和多原子离子干扰降低。
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ICP-MS中的离子聚焦系统（离子光学透镜/离子光学系统）位于截取锥和质谱分离装置之间，它决定了离子进入质量分析器的数量和仪器的背景噪声的水平。
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ICP-MS中的离子聚焦系统（光学透镜/离子光学系统）由一组静电控制的离子透镜（离子光学透镜）组成，其原理是利用离子的带电性质，用电场聚集或偏转牵引离子。
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ICP-MS中离子透镜（离子光学透镜）的作用是将一个定向速度传输给离子，使离子被吸向质量分析器，并将离子保留在真空系统中，而不需要的中性离子则被泵抽掉。
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空间电荷效应是ICP-MS基体效应的主要根源，如果不采取任何方式补偿的话，较高质荷比的离子将会在离子束中占优势，而较轻质荷比的离子则遭排斥。
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丰度灵敏度是四极杆质谱仪的重要特性，它代表一个分析物谱峰的拖尾对相邻质量处的重叠程度。
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四极杆质量分析器将离子按质荷比分离后最终引入检测器，检测器将离子转换成电子脉冲后由积分线路计数，电子脉冲的大小与样品中分析离子的浓度有关。
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