填空题X 纠错
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填空题
注入离子的射程主要由()决定。确定注入离子分布的主要参数是()及其()。注入离子分布的一级近似为()。可写成:
Si衬底上热氧化的机理由()模型确定。氧化反应的快慢与三个因素有关,即:()。氧化层厚度的理论计算公式为:式中A、B为与扩散率成正比的常数,τ为由()决定的时间修正系数。
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