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问答题

什么是More moore定律和More than Moore定律?

参考答案:

问答题

什么是特征尺寸CD?

参考答案:最小特征尺寸,称为关键尺寸(Critical Dimension,CD)CD常用于衡量工艺难易的标志。

问答题

写出半导体产业发展方向?什么是摩尔定律?

参考答案:

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写出IC制造的5个步骤。

参考答案:

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什么叫集成电路?写出集成电路发展的五个时代及晶体管的数量?

参考答案:

问答题

应力分为压应力和张应力,下图的形状是由于哪种应力产生的?请在图上标出应力的方向。如果要让上面的结构材料变得平整,要怎么做?

参考答案:张应力(张的时候产生的应力)与压应力(压的时候产生的应力)在张应力作用下,薄膜会相对衬底进行收缩&bul...

问答题

在MEMS加工中,为了精确控制腐蚀深度,有哪几种腐蚀停止技术,分别说一下其腐蚀停止原理。

参考答案:腐蚀停止目的:为了精确控制腐蚀深度.P++腐蚀停止技术(形成重掺杂B层):Si的湿法腐蚀速率在B掺杂浓度<1×1019c...

问答题

MEMSSi加工工艺主要分为哪两类,它们最基本的区别是什么?

参考答案:Si工艺 体硅微机械加工工艺(Bulkmicromaching)——用晶圆自身材料来制作MEM...

问答题

分别画出单大马士革和双大马士革工艺流程图。

参考答案:

问答题

在铜互连中,为什么要用铜扩散阻挡层?阻挡层分成哪几种,分别起什么作用?

参考答案:1)铜在SiO2中极易扩散,造成对硅器件的沾污:增加SiO2的漏电流;增加结漏电流;降低了击穿电压。2)铜极容易氧化和被...
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