判断题
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当掩模版上的图形转移到下方薄膜材料上时,必须要考虑到光刻胶的性质(正胶还是负胶)。
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判断题
如果掩模版上绝大多数部分是不透光的区域,只有很少一部分透光,这种掩模版称为亮场掩模版。
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对
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判断题
掩模版一般是在石英玻璃涂抹上一定形状的铬等材料,形成明暗相间的图形。
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对
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判断题
制作MOS管时,一般先进行源的注入,再进行漏的注入。
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判断题
CMOS制作时,源、漏、栅等结构都做在场氧化区。
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判断题
LOCOS工艺主要用于制作MOS管的栅氧结构。
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判断题
制备多晶硅之前先做一层薄氧,这层薄氧是栅氧。
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错
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判断题
制作场氧区的时候,氮化硅的作用是作为LOCOS氧化时的掩蔽层。
参考答案:
对
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判断题
采用双阱工艺,可以实现PMOS和NMOS的独立控制。
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对
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判断题
利用重掺杂的多晶硅作为MOS管的栅,可以使得MOS电路特性得到改善,阈值电压下降。
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对
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判断题
制作MOS管结构时,源漏虽然结构完全对称,但掺杂浓度不同。
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