1.水流泵或油封机械泵，+油扩散泵，用来获得低真空；
2.福廷式气压计或数字式高精度气压计，用来测量大气压力。福廷式气压计读数要作温度和海拔高度、纬度校正；
3.数字式低真空压力测试仪，用来测量低真空系统和大气环境之间的压力差；
4.高密封性管路系统。