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问答题
问答题
假设某项化学气相淀积工艺受反应速率控制,在700 ℃和800 ℃时的淀积速率分别为500Å/min和2000Å/min,请计算在900℃下的淀积速率是多少?实际测量发现900℃下淀积速率远低于计算值,说明什么?怎样证明?(化学气相淀积的反应速率常数)
问答题
识别如图所示工艺,写出每个步骤名称并进行描述。
问答题
如图为铝金属化与铜金属化工艺的比较。识别并描述每个工艺步骤。
单项选择题
A. 电活性
B. 晶格损伤
C. 横向效应
D. 沟道效应
单项选择题
A. 激活杂质后
B. 一种物质在另一种物质中的运动
C. 预淀积
D. 高温多步退火