主要步骤包括：
（1）在观测站安置好三脚架，将仪器安放在机座上，并进行对中、整平，这与光学经纬仪相同，然后开启电源开关。
（2）设置气象改正、大地曲率等参数（参数值由仪器说明书查取）。
（3）量取仪器高。
（4）在目标点安置棱镜，根据测程选择不同的棱镜组，经对中整平后，将棱镜的反光镜对准全站仪。
（5）用望远镜瞄准反光镜后，按下"测量"按钮，测量结果显示在仪器显示屏上，运用键盘可显示平距、高差等数据。