1）、精密度（重现性 precision/Reproducibility ）：数次平行测定结果的相互一致性的程度一般用相对标准偏差表示（RSD%），精密度表征测定过程中随机误差的大小
2）、灵敏度（sensitivity ）：仪器在稳定条件下对被测量物微小变化的相应，也即仪器的输出量与输入量之比
3）、检出限（检出下限，limit of detection，  LOD）：在适当置信概率下被检测组分的最小量或最低浓度。①最低检出浓度：满足最低检测限要求时，进样供试品溶液的浓度，常见单位：微克/毫升，纳克/毫升，克/毫升【浓度单位】；②最低检出量：最低检出量=最低检出浓度 X 进样量，常见单位：微克，纳克【重量单位】；③最低检出限：检出限DL是一种比值，用%或ppm表示，等于最低检出浓度与样品溶液浓度（通常是一个固定的限度值）的比值，因此只有在满足最低检出浓度和最低检出量的同时才能够做出检出限
4）、线性范围（linear range ）
仪器的检测信号与被测物质浓度或质量成线性关系的范围；即在一定的置信度时，拟合优度检验不存在失拟的情况下，回归直线所跨越的最大的线性区间
5）、选择性（selectivity）： 对单组分分析仪器而言，指仪器区分待测组分与非待测组分的能力