（1）由电子光学系统（镜筒）、偏转系统（扫描系统）、信号探测放大系统、图像显示记录系统、真空系统和电源系统等。作用：使电子束产生横向偏转，包括用于形成光栅状扫描的扫描系统，以及使样品上的电子束间断性消隐或截断的偏转系统。偏转系统可以采用横向静电场，也可采用横向磁场。
（2）可直接观察直径10-30mm大块试样，制样方法简单；场深大（景深大），适用于粗糙表面和断口形貌分析观察，图像富有立体感、真实感、易于识别和解释；放大倍数变化范围大，一般为15-20万倍，最大可达30万倍，对于多相、多组成的非均质体材料，便于低倍下的普查和高倍观察分析；具有相当的分辨率，一般为3-6nm，最高可达2nm，但对样品苛求；可以通过电子学方法，有效地控制和改善图像的质量；可进行多种功能的分析：配X射线谱仪进行微区成分分析；配光学显微镜和单色仪进行阴极发光研究等；可使用加热、冷却和拉伸等对样品进行动态试验，观察样品各种环境条件的相变和形态变化。