①直接法：支持膜分散粉末法、胶粉混合法、离子溅射法、超薄切片法。
②间接法：一级复型（碳膜一级复型、塑料膜一级复型）、二级复型（塑料膜-碳膜二级复型）。
③半间接法：萃取复型。

①减小照明源的波长
②增大加速电压
电子透镜的分辨本领受到衍射效应、透镜的像差的限制。

1.试样的分离和精制。
2.了解与试样性质有关的其他方面的资料。
3.谱图的解析。
4.和标准谱图进行对照。