（1）仅含C、H、O、N、S的有机材料，原子氧反应系数大致相同，在2~4×10^-24cm³/AO左右。
（2）经过氟化处理的碳基聚合物及硅树脂比有机材料原子氧反应系数低一个数量级甚至更多。
（3）复合材料的原子氧反应系数完全与填充材料的性质有关。
（4）除银、锇外，其他金属材料的表面致密的氧化膜会保护金属不与原子氧发生氧化反应。银、锇对原子氧很敏感，不能直接在原子氧环境使用。
（5）氟化镁、氧化镁在原子氧环境里有很好的稳定性。
（6）铜在原子氧环境里形成氧化防护膜，但改变了表面的热学、光学性能。