问答题X 纠错
氯气、溴气、氯/溴气 原因:因为氟基气体的刻蚀是各向同性的并且对光刻胶的选择比一般,为了避免击掉下一层的氧化物材料,所以选用轰击离子能量更低的化学气体。
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