问答题X 纠错
优点: 1.刻蚀剖面是各向异性,具有非常好的侧壁剖面控制 2.好的CD控制。 3.最小的光刻胶脱落或粘附问题 4.好的片内、片间、批次间的刻蚀均匀性 5.较低的化学制品使用和处理费用。 缺点:对下层材料的差的刻蚀选择比、等离子体带来的器件损伤和昂贵的设备
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问答题
显影也应具有选择性,高的显影选择性比意味着显影液与曝光的光刻胶反应得快。 要求比例低。
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