问答题X 纠错

计算扫描光刻机的分辨率，假设波长是248nm， NA=0.65，  K是0.6。

参考答案：0.6*248/0.65=228.9   R=K*入/NA
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陈述分辨率公式。影响光刻分辨率的三个参数？

参考答案：

R.K*入/NA
1，波长 入
2，数值孔径NA
3，工艺因子K

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参考答案：汞灯和准分子激光
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