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什么是数值孔径（NA），陈述它的公式，包括近似公式？

参考答案：透镜收集衍射光的能力被称做透镜的数值孔径，NA=(n)t透镜的半径除以透镜的焦长。
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问答题

解释透镜压缩是怎么发生的，它产生了什么问题？

参考答案：透镜压缩是透镜材料结构上的重新排列导致透镜材料增密，压缩发生在透镜材料中，包括熔融石英它可以增加激光束穿过区域的透镜材料...
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问答题

DUV波长曝光时使用哪种透镜材料？

参考答案：一种合适的透镜材料是熔融石英，他是深紫外波长范围内的较少的光吸收，氟化钙正在作为一种可能的候选透镜材料。
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问答题

典型的DUV光刻胶曝光剂量的宽容度是多少？

参考答案：深紫外光刻胶的曝光宽容度是剂量变化范围在1%左右。
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问答题

哪种激光器用做248nm的光源，193nm的光源是什么？

参考答案：通常用于深紫外光刻胶的准分子激光器是波长为248nm氟化氪（KrF）激光器，193nm的氟化氪激光器大概是作为曝光源的准...
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问答题

如果光刻胶对光的吸收过多侧墙会怎样？

参考答案：如果光刻胶的吸收过多，光刻胶底部接收的光强度就会比顶部的少很多，会导致图形侧墙倾斜。
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问答题

列出并描述光刻中使用的两种UV曝光光源。

参考答案：汞灯和准分子激光
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问答题

描述曝光波长和图像分辨率的关系。

参考答案：

较短的波长可以获得光刻胶上较小尺寸的分辨率。

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问答题

陈述软烘的4个原因。

参考答案：1.将硅片上覆盖的光刻胶溶剂去除；2.增强光刻胶的粘附性以便在显影时光刻胶可以很好地粘附；3.缓和在旋转过程中光刻胶胶膜...
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问答题

光刻胶厚度随什么变化？

参考答案：粘度越高转速越低，光刻胶就越厚
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问答题

负胶的两大缺点是什么。

参考答案：在显影时曝光区域由溶剂引起的泡胀；曝光时光刻胶可与氮气反应从而抑制其交联 。
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