1.树脂。光刻胶树脂是一种惰性的聚合物基质，用于把光刻胶中的不同材料聚在一起的粘合剂
2.感光剂。是光刻胶材料中的光敏成分，它对光形成的辐射能会发生反应
3.溶剂。使光刻胶保持液体状态，直到它被涂在硅片衬底上
4.添加剂：是专用化学品，用来控制和改变光刻胶材料的特定化学性质或光刻胶材料的光响应特性

由于显影时的变形和膨胀，负性光刻胶通常只有2μm的分辨率。
正性光刻胶。

1.将掩膜版图案转移到硅片表面顶层的光刻胶中。
2.在后续工艺中保护下面的材料。