（1）气路系统泄露。
（2）紫外灯输出不稳定。
（3）过滤器需更换。
（4）反应室温度不稳定。
（5）气源不稳定。
（6）样气限流孔堵塞。

O₃是来自仪器中的臭氧发生器，臭氧发生器是以高压、电极放电的方法电离干燥空气产生臭氧。