氧化系统的基本组成结构及每一部分的主要作用。

参考答案：工艺腔：提供高温氧化的加工环境
硅片传输系统：实现硅片在工艺腔中的装卸和传输
气体分配系统：实现维持高温阳化气氛的气流的正确传送与分配
尾气系统：彻底清除尾气及副产品
温控系统：精确地控制炉管温度
微控制器：控制着高温氧化炉的所有操作

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920A

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