第一阶段：先秦时期中国古代监察制度的萌芽与逐步形成。中国古代监察制度是在战国末年至秦统一中国这一时期确立并发展起来的，但是监察作为社会特定职能的产生，可上溯到先秦时期。中国原始社会晚期，固有的权力所有者与执行者之间出现了分离，简单的对权力执行者进行监督的机制逐渐形成。夏商王朝的建立，使权力监督的性质，格局发生了变化，开始以维护专制王权为价值取向，以诸侯，官吏为监督对象。西周时期，出现了监督机构专门化的趋势，监督方式也渐趋多样。在西周还出现了对王谏议的监督方式，其中包括贵族谏议，专职官吏进谏，国人谤政等，这些对于集中统治经验和智慧，了解民间舆论，保证决策正确和改正错误，具有重要的作用，但这些监督都缺乏确定的制度保证。春秋战国时期，贵族世袭的“世卿世禄”制逐渐废除，封建的职业官僚制度逐步建立起来。
第二阶段：秦汉魏晋南北朝时期御史机构与监察制度的发展。秦统一后，仍以御史大夫主管监察。西汉初年，承袭秦制设御史府，长官仍为御史大夫，地位仅次于丞相。东汉时期进一步加强了监察制度。魏晋南北朝时期，基本上沿袭汉代的御史建制，设有御史建制，设有御史台，并分设御史大夫，殿内御史，治书侍御史，监察御史，检校御史，侍御史等职以及郡县一级的刺史监督机构，逐步发展和完善了监察法制，使监察机构成为以监察官员法纪为主的国家司法的重要组成部分和具有独立性的国家权力机构。
第三阶段：隋唐五代时期一台三院制的建立。隋唐五代时期是中国古代监察制度进一步完备的阶段。隋代曾设御史，司隶，谒者三台，负责百官法纪监察。
第四阶段：宋元时期御史台的进一步发展。宋代从建立之初开始，中央集权即不断加强，逐步建立起一套以台谏机构为核心的监察系统。元代中央监察机构仍为御史台。
第五阶段：明清时期院科道监察体系的完善与古代监察制度的瓦解。 明清时期的监察发生了突出的变化，由以前的台院制演变为都察院科道制，台院逐渐合并，察监言职合一，言谏功能削弱，君权日增，君主专权达到高峰，监察机构也更为集中和简化。