X射线荧光光谱内标法，即把一定量的内标元素加入到标准试料及分析试料中，以标准试料中分析元素与内标元素的X射线荧光强度比与分析元素含量绘制校准曲线。测定分析试料的分析元素与内标元素的X射线荧光强度比，从校准曲线求得分析元素含量。

X射线荧光光谱法分析线的强度与分析面的磨纹方向有关，因此，在测量时采取转动试样的方法，以减少误差。

X射线荧光光谱分析康普顿散射线内标法不能校正基体的吸收效应，只能校正增强效应。

X射线荧光光谱分析康普顿散射线内标法是根据靶线的康普顿散射线的强度很敏感地受样品成分的影响而设计的分析方法。

X射线荧光光谱分析散射背景内标法是用由连续谱线的散射线构成的本底（背景）为内标的校正方法。

在X射线荧光分析中内标法往往可以采用将样品制成溶液的形式或以熔剂熔融的方式进行。

波长色散X射线荧光光谱仪的分光晶体对温度的变化较敏感，温度变化会引起晶体面间距值的变化，导致谱线的位移。