问答题X 纠错
欧姆接触是指不产生明显的附加阻抗的,接触电阻很小的金属与半导体的非整流接触。
半导体器件一般利用金属电极输入或输出电流,因此要求金属和半导体之间形成良好的欧姆接触,尤其在大功率和超高频器件中,欧姆接触是设计制造的关键问题之一。
不考虑表面态的影响,若金属功函数小于半导体功函数,金属和n型半导体接触可形成反阻挡层;若金属功函数大于半导体功函数,则金属和p型半导体接触可形成反阻挡层;理论上,选择适当功函数的金属材料即可形成欧姆接触。
实际上,由于半导体材料常常具有很高的表面态密度,无论n型或p型半导体与金属接触都会形成势垒阻挡层,而与金属功函数关系不大。因此,不能用选择金属材料的办法来形成欧姆接触。常用的方法是在n型或p型半导体上制作一层重掺杂区后再与金属接触。重掺杂半导体的势垒区宽度变得很薄,因此电子可以通过量子隧道效应穿过势垒形成相当大的隧道电流,此时接触电阻可以很小,从而可以形成良好的欧姆接触。
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