所谓分辨本领，是指显微镜能分辨的样品上两点间的最小距离。通常，我们以物镜的分辨本领定义显微镜的分辨本领。确定光学透镜分辨本领d0的公式为d₀=0.61λ/nsinα，透镜的分辨本领主要取决于照明束波长λ。要显著提高显微镜的分辨本领，必须探索一种波长比可见光短得多的照明源——电子束。
电子透镜的分辨本领随加速电压的提高而提高。透镜的实际分辨本领除了与衍射效应有关外，还与透镜的像差有关。对于光学透镜，已经可以采用凸透镜和凹透镜的组合等方法来矫正像差，使之对分辨本领的影响远远小于衍射效应的影响，但是电子透镜只有会聚镜，没有发散透镜，所有至今还没有找到能矫正球差的方法。这样，像差对电子透镜分辨本领的限制就不容忽略了。像差分球差、像散、畸变等，其中，球差是限制电子透镜分辨本领的最主要因素。