问答题
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扫描电电子显微镜主要由几部分组成？
参考答案：
扫描电子显微镜主要有电子光学系统、真空系统、电器系统三部分，另外还有信号检测系统。如果配置了能谱仪，则还有包括特征X射线处理系统。
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