常见的评审过程可以分为6个阶段：
（1）规划阶段（Planning），作者和仲裁者共同制定审查计划，决定审查会议的次数，安排每次审查会议的时间、地点、参与人员、审查内容。
（2）总体部署阶段（Overview），作者和仲裁者向所有参与审查会议的人员描述待审查材料的内容、审查的目标以及一些假设，并分发文档。
（3）准备阶段（Preparation），审查人员各自独立执行检查任务。在检查的过程中，他们可能会被要求使用检查清单、场景等检查方法，记录下来检查中发现的问题，以准备开会讨论或者提交给收集人员。
（4）审查会议阶段（Inspection Meeting），通过会议讨论，识别、确认和分类发现的错误。在审查会议结束时，还可以根据审查发现的问题严重程度来确定软件需求规格说明文档是可以在修正后接受，还是需要在修正后再次进行评审。
（5）返工阶段（Rework），作者修改发现的缺陷。
（6）跟踪阶段（Follow-up），仲裁者要确认所有发现的问题都得到了解决，所有的错误都得到了修正。仲裁者还要判断修正后的文档是否已满足审查的结束标准，如果不满足就需要再次进行评审。
若满足下列情况，审查工作可以结束。
①审查期间审查人员提出的所有问题都已解决。
②文档中和相关的工作产品中的所有更改都已正确完成。
③修订过的文档已经进行了拼写检查。
④所有标识为TBD（待确定）的问题都已经解决，或者已经对每个待确定问题的解决过程、计划解决的目标日期和由谁来解决等编制了文档。
⑤文档已经在项目的配置管理系统中作了登记。