刻蚀及去PSG的目的是什么？

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刻蚀及去PSG的目的是什么？

参考答案：刻蚀的目的：去除边缘的PN结，防止上下短路而造成的并联电阻低。去PSG的目的：去除硅片表面含有磷原子的SIO2层。

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