（1）对断路器气室抽真空，当真空度达到133.32Pa以下时开始计时；
（2）维持真空泵运转至少30min；
（3）停泵并与泵隔离，静止30min后读取真空度A值；
（4）在静止5h，读取真空度B值；
（5）要求B值减A值小于66.66Pa，否则，进行捡漏并重复步骤2、3、4；
（6）对断路器气室充SF₆气体至0.05~0.1MPa，静止12h后测量含水量应小于450ppm（体积比），可认为处理合格。若大于450ppm，应重新抽真空，并用高纯度N2（99.999）充至额定压力，进行内部冲洗。
（7）若含水量为450ppm（体积比），可将SF₆气体充至额定压力，静止12h以上，测量含水量应不大于150ppm（体积比）为合格。