（1）没给电或真空泵不工作。
（2）设置不对。
（3）没有驱动。
（4）滤芯堵塞造成真空不足。
（5）真空管路堵塞造成真空不足。

（1）检查进水是否正常；
（2）检查水位控制器浮漂是否异常。

（1）首先将注塑机内的润滑残油清洁干净；
（2）旋涂室内机台表面污迹擦干净；
（3）将旋涂碗、洗边碗抽风管路疏通清洁。