（1）盘片干燥不好，有以下几个原因：
①UV灯坏；
②曝光时间短；
③UV转盘不转；
④胶的问题；
⑤有盘片粘在UV灯处。
（2）解决办法：
①如果UV灯坏，更换同型号UV灯；
②增长曝光时间，但不应太长，易产生翘曲，慢慢调整；
③拆下UV灯转盘电机，检查电机是否转动，如不转动，则须更换相同型号电机或对旧电机进行维修；
④如果是更换新胶后干燥不好，可能是胶的原因，可以拿盘片到其它机台进行试验，确定是胶的问题，更换别的胶。
⑤有盘片粘在UV灯处，清理干净，再开机。

真空传感器不灵敏。
（1）P12手臂的轴密封漏真空。
（2）系统管路插头或管路有漏的地方。
（3）真空泵真空不足或没真空。