当观察到溅镀机真空泵油较少时（低于下液位时）需要回流新油（N62）。
（1）将溅镀机打开OFF状态，然后用内六角打开加油口及排气孔，用专用导管将泵内殘油排净。
（2）拆下专用导管加注新油，在油液位标记范围内，不能太多，否则开机时油会被挤压出来，损坏密封件。