问答题X 纠错

旋涂碗不转，如何处理？

参考答案：先看GV6是否亮灯，电机是否卡死，若电机未卡死，给上电源，看电机是否转，若仍不转，GV6仍亮红灯，可能是程序问题。
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问答题

旋涂碗上方的看碟电眼（看有碟无碟），一直常亮对吗？

参考答案：不对，当有碟时，电眼黄灯亮，无碟时黄灯灭。
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问答题

当旋涂机报警冷却梁输入arm手放碟出错怎么调整？

参考答案：观察是否为arm手臂放片不正，是则调整arm手臂，不是调整看碟光纤。
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问答题

如何判定染料片洗边是否完美？

参考答案：取出一张刚进烘炉的碟片在光源下旋转360°观察，碟片最外1mm内无任何缺陷且无色透明即可。
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问答题

当碟片出现旋涂不良时应怎样处置？

参考答案：

（1）调整下料手臂位置及运动速度；
（2）调整伺服电机转速；
（3）调整染料下料量及时间。

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问答题

当旋涂机接片手往冷却梁输入arm 1手放片不正时，应如何调整？

参考答案：（1）首先调整接片手与arm 1手的对中，在arm 1手上放一碟片，接片手的四个吸咀均在碟片堆积环内且距中孔基本0距。（...
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8.0线烘炉螺杆不运行应先检查什么？

参考答案：看烘炉的两个出碟手是否停在准备取碟位置。
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问答题

GV6亮红灯是什么问题？

参考答案：地址或程序丢失，或驱动器坏。
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问答题

6.0线在存储旋涂参数时应注意什么？

参考答案：应该将旋涂自动运行和整机运行按钮按起，以避免丢失程序和pick3报警。
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问答题

白片厚度差如何调整？

参考答案：（1）用检测仪测量白片厚度差；（2）若需要调整在白片上作好标记，用反射率测出的白片的薄厚分布情况，做好记录；（3）停注塑...
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问答题

偏心超过20怎么办？

参考答案：首先要分析原因，是否是母盘的原因；其次找工艺工程师调整；最后找设备工程师调整模具。
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