（1）白片孔切割不好，有PC料碎屑落到白片上，调整冲刀：降低冲切的速度，缩小冲切的延迟时间，加大冲刀的温度；
（2）染料过滤不好，更换过滤器即可；
（3）下料针头染料结晶过多，落在盘片上，可以勤擦针头来改善。

（1）旋涂室内的湿度、温度；
（2）染料的浓度；
（3）下料量及摆臂位置、速度。

①调整洗边正角压力；
②调整下料阀；
③调整针头与盘片的位置和角度；
④增大1段速度；
⑤增大二段时间；
⑥检查Mask。