问答题X 纠错

参考答案:适当地增加OD大小,调整OD曲线,对照超标的位置按照β值的大小来增减相应位置的OD大小。还可以更换新的染料或母盘。另外,升高模温对解决PI高也有好处。
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问答题

如何调整旋涂中心孔染料点、旋涂射线和旋涂不圆?

参考答案:(1)针头要与碟片有一定角度,不可以过大。针头与碟片之间的距离要保持好,一般以两张白片厚度为宜,通过旋涂观察。针头的下d...

问答题

如何调整OD?

参考答案:增加1、2段时间,增加2段转数,下染料手臂速度可使OD变大,减小3段加速度可使OD变大,反之则变小。

问答题

简述太阳花的调整。

参考答案:

(1)增加下料量;
(2)降低一段、二段转速;
(3)减小摆臂速度,增加等待时间;
(4)调整染料泵压力。

问答题

简述染料纹的调整。

参考答案:

(1)旋涂回吸;
(2)增大下料量、时间;
(3)提高一段、二段转速;
(4)回料管是否堵塞。

问答题

简述中孔染料点的调整方法。

参考答案:

(1)提臂速度是否过快;
(2)下料转速是否过大;
(3)针头过高;
(4)回吸量过大。

问答题

简述“彗星”的调整方法。

参考答案:

(1)染料是否剩余过多;
(2)中孔切的是否光滑;
(3)水口拉丝是否过长;
(4)下料量是否过少;
(5)回吸量过大。

问答题

染料浓度对OD有何影响?

参考答案:染料浓度越高,OD会越高,反之,浓度越低,OD会越低。

问答题

染料盘基有缺角是怎样产生的?

参考答案:染料溶液下料不足,过滤器堵塞,机械手下料位置和转速失当。

问答题

如果旋涂室内湿度升高,温度不变,OD会如何变化?

参考答案:OD会随温度的增加而降低。

问答题

如果旋涂室内温度升高,湿度不变,OD会如何变化?

参考答案:OD会随温度的升高而升高。
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