热电偶温度计常见故障为指示值低，或者停止在零位。这是由于热电偶产生问题，可能是接触不良或断路，一般不出现指示偏高的现象。
为了保证测量精度，使用中应正确进行冷端温度补偿（常用补偿导线法），并注意热电极和大地之间有良好的绝缘。
热电阻温度计常见故障：有时指针总是指向最大。这是电阻温度计测温元件断路，使电阻无限大，或是两端接触不良，接触电阻大；另一种现象是指针指向零位，或者向负的方向偏转。原因是测温元件发生短路，电阻为零，或是由于电阻温度计保护套管漏气或者结冰引起；还有一种现象是指针不动，这是由于电桥本身出了问题，没有工作引起的。
在使用中要严防水分进入热电阻保护管内，显示仪表后不得开路或短路。在检查热电阻时，测量电流不应大于5mA。