相同点：
电子衍射和X射线衍射的原理基本相似，即入射晶体后电子成了新的辐射源，向空中发射的散射波产生干涉，在某些固定方向上增强减弱或消失，产生衍射现象。
不同点：
1）电子衍射波的波长短通常加速电压为100~200kv，电子波的波长一般在0.00215~0.00370nm，而X衍射线波长一般为0.05~0.25nm。
2）电子衍射波反射球的半径大。
3）电子波的散射强度高物质对电子的散射比对X射线的散射强度强约106倍。
4）电子衍射可以对微区结构和形貌进行同步分析，X衍射无法进行形貌分析。
5）电子衍射波采用薄晶样品。
6）电子波的衍射斑点位置精度低。